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原子層沉積系統
原子層沉積系統，包括：傳統的熱原子層沉積系統（TALD）、等離子增強原子層沉積系統（PEALD）、粉末樣品的原子層沉積系統（Power-ALD）。

更新時間：2020-11-01
廠商性質：經銷商
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